箱式高溫爐采用集成化模塊控制單元,控制度,并設(shè)計(jì)了雙回路控制和雙回路保護(hù),具備了過沖、超調(diào)、欠調(diào)、段偶、缺相、超壓、超流、超溫、電流反饋、軟啟動(dòng)等保護(hù)。
箱式高溫爐的使用注意事項(xiàng):
1、除了做實(shí)驗(yàn)外,不要停留在高溫爐管區(qū)。
2、實(shí)驗(yàn)工作完畢時(shí),若無人繼續(xù)使用,請關(guān)特殊氣體,保留N2流動(dòng),高溫爐管保持在standby溫度,并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān),如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它,請隨手關(guān)掉。
3、處理HF時(shí),請戴手套,如不小心碰到HF時(shí),立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處15'。
4、石英玻璃制品請小心使用,以免破裂,引起嚴(yán)重割傷。
5、避免吸入從高溫爐或處理槽所冒出之各種氣體。
6、旦發(fā)現(xiàn)在高溫爐周圍有妨礙安全之事物時(shí),要通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。
7、請節(jié)約純水用量。破晶片、濾紙、棉花棒……等,請勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板漬水。
8、長短推桿之前端,在還沒使用到時(shí),請朝上以免污染。
9、晶片進(jìn)出爐口時(shí),承接boat的holder,請勿碰觸爐管口,以免污染爐管。
用于熱等靜壓機(jī)的高溫爐,雖然也起燒結(jié)作用,但它不同于般真空或保護(hù)氣氛燒結(jié)爐,它更巧和高效。高溫爐在工作時(shí)是受高壓壓力介質(zhì)所包圍,若要使高溫爐體高效的正常運(yùn)轉(zhuǎn),需要解決以下兩個(gè)關(guān)鍵問題。
?。?)高溫爐構(gòu)造必須能防止?fàn)t內(nèi)外高密度壓力介質(zhì)的有害對(duì)流,并爐溫均勻。
?。?)般情況下,爐內(nèi)需要有1000℃以上的高溫,而爐外溫度只允許在100℃~200℃左右。這就要求在幾十毫米厚的隔熱層內(nèi),能使溫度下降千多度。